万业企业：集成电路核心装备领域布局日趋多元

    事件：2021 年12 月23 日，公司发布公告：公司控股子公司长三角一体化示范区嘉芯半导体设备科技有限公司（简称“嘉芯半导体”）与嘉善县西塘镇人民政府签订了项目投资协议书，项目总称为“长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司年产2,450 台/套新设备和50 台/套半导体翻新装备项目”，将包括6 个子公司，2 个事业部。项目公司未来主要从事刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等8 寸和12寸半导体新设备开发生产及设备翻新，项目投资总额合计20 亿元人民币，其中公司投资将不超过人民币8 亿元。

    点评：公司设立嘉芯半导体，实现由离子注入机到半导体设备平台的跨越。公司目前主要的半导体设备产品是其子公司凯世通的离子注入机，首台低能大束流离子注入机在国内一家大型12 英寸晶圆厂完成验证并确认收入，1 台低能大束流重金属离子注入机和1 台低能大束流超低温离子注入机已交付客户，高能离子注入机设备按客户交付计划进行组装，新增与国内另一家12 英寸晶圆厂签署1 台低能大束流超低温离子注入机和1 台高能离子注入机订单，打破国外设备厂商的垄断地位，是国内离子注入机的领军企业，也是国内头部晶圆大厂中芯国际的战略供应商，离子注入机进入放量期。

    根据华经产业研究院的统计，2020 年离子注入机的销售额在半导体前道设备销售额中的占比约为3%左右，相比于薄膜沉积机的26.9%、刻蚀机的23.9%以及清洗设备的6.7%其空间相对较小。公司2021 年4 月29 日设立子公司嘉芯半导体，持股比例达80%，为第一大股东，宁波芯恩持股比例20%，为第二大股东。

    嘉芯半导体未来从事薄膜沉积机、刻蚀机、清洗设备以及快速热处理等新设备的开发，能够极大地扩展公司未来在半导体设备领域的成长空间，完成“1-离子注入机”到“N-平台型：刻蚀机、薄膜沉积机、清洗设备、离子注入机以及快速退火等”的跨越，平台型半导体设备公司雏形已经显现。

    外延内生助力公司转型集成电路核心装备领域，布局日趋多元化平台化。近年以来，公司通过“外延并购，内延生长”的方式积极从房地产业务转型集成电路核心装备业务。除了核心产品离子注入机外，公司2020 年12 月牵头境内外投资人完成对全球领先的集成电路气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems（CS）的收购，目前持股比例33%，并间接成为CS 的第一大股东。CS 是应用材料等海外巨头的核心供应商，预计2021 年其营业收入有望达到10 亿元，2022 将继续保持强劲增长。另外，公司作为上海半导体装备材料基金投资的主要LP 投资了华卓精科、上海精测、长川科技、上海御渡等，覆盖了光刻机核心零部件-双工件台、半导体前道检测设备、后道测试机等核心设备，公司集成电路核心装备领域布局日趋多元化平台化。

    盈利预测、估值与评级：公司积极转型集成电路核心装备领域，子公司凯世通离子注入机形成重大突破，有望持续放量，另外其设立嘉芯半导体从事新设备的开发以及并购Compart 完成设备核心零部件的布局，我们持续看好公司外延内生的成长前景，维持公司2021-2023 年的归母净利润分别为3.84 亿元、5.22 亿元、5.51 亿元，当前市值对应的PE 分别为82x、60x、57x，维持“买入”评级。

    风险提示：客户导入及验证不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。（光大证券）